近日,由半导体投资联盟、爱集微共同举办的“2024半导体投资年会暨IC风云榜颁奖典礼在北京隆重举行。厦门宇电自动化自动科技有限公司(简称:宇电)在超100家企业中脱颖而出斩获“年度技术突破奖”。
“年度技术突破奖”旨在表彰2023年度前沿技术领域原始性重大技术创新,未来或产生重大经济社会效益,对于推动我国集成电路产业链自主安全可控发展发挥重大作用的企业。
在30多年的发展过程中技术创新是宇电的“生命线”,持续不断地创新是宇电制胜市场的关键。推出AI人工智能调节算法、仪表模块化和平台化结构等多项创新技术;主持并参与起草了GB/T 20819.1-2015调节器、物联网变送器、嵌入式控制器等几十项国家标准。
半导体作为制造业上的明珠,半导体产业链上下游企业都在积极推动半导体设备国产化。面对巨大的市场机遇,宇电凭借过硬的研发能力和创新精神,推出半导体设备专用串级温控器。
半导体设备专用串级温控器
由于半导体制造涉及的工艺流程复杂。如氧化扩散、刻蚀、薄膜沉积等环节都需要精密的温度控制,微小的温度变量会导致工艺流程的失败。超高的技术门槛使得以往该领域的温控产品被进口品牌垄断。
宇电的半导体设备专用串级温控器,AI人工智能调节技术可自动识别不同场景,面对生产过程中的大滞后、额外扰动等复杂控制对象,可模拟专家思路调整控制器的工作状态,让串级控制仪表的调试工作和普通单回路PID仪表,在算法上超越进口温控器,成为该领域国产温控器的破局者。
目前,宇电的半导体设备专用温控器已经规模应用在低压硼/磷扩散、高温氧化、退火、PECVD镀膜、LPCVD镀膜、ALD镀膜等装备和工艺中,帮助客户提升生产效率及产品良率,客户包括光伏半导体头部设备企业在内的绝大多数光伏设备厂商,并与多家半导体微电子设备企业在合作中。
针对要求更为苛刻的微电子、集成电路领域,宇电推出AI-9高精度智能温控器、AI-8848高精度多回路温控器等产品。
AI-9高精度温控器测量精度,测量精度0.05级,分辨率可达到0.001℃,支持4线制PT100输入。这款温控器集超高精度、优秀性能、高稳定性等配置于一身,可应用于满足复杂制造的半导体行业。
AI-9高精度温控器
AI-8848高精度多回路温控器是具有单路仪表性能和功能设计思想的多路仪表,单台仪表内集成多个24BIT高性能A/D转换器,既能满足多路集中控制,又具有单路仪表的优良性能。并可以外接多种输入和输出模块进行功能扩展,最多可实现96路测量与控制功能。
AI-8848多回路高精度温控器
展望未来,宇电将持续聚焦客户需求,坚持以科技创新为基础,将研发作为企业发展创新驱动力,为客户提供优秀的温控产品,提供解决方案。